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In Situパーティクルディテクタ
インフィコンのStilettoTMは、In-Situ計測ならびにプロセスコントロールを可能にし、最先端の半導体プロセスにおいて、歩留りおよび生産性を向上させます。Stilettoは、プロセス装置と完全に一体化する初めてのIn-Situパーティクルモニタリングシステムです。装置のさまざまなデータを組み合わせることにより、パーティクルカウントと装置の状況が重ね合わされ、エンジニアは、パーティクルが発生した正確な時間と原因を認識することができます。インフィコンのStilettoは、各ウェハの各運転時にパーティクルを検出できるため、欠陥に起因する歩留り損を、以前とは比較にならないほど早く検出し防止できます。
インフィコンのStilettoのワイドスキャン方式は、従来のIn-Situパーティクルモニタで使用されていた固定レーザービームシステムと比較して、はるかに大きな範囲を連続的にモニタリングするため、パーティクル数をより正確に測定できます。さらに、同一容量を繰り返しスキャニングすることにより信頼性の高い測定が可能なため、本質的に誤検出のない先進の信号処理技術を実現しています。これら最先端技術の組み合わせにより、“キラー異物”を検出するサブミクロン感度を実現すると同時に、無用な歩留り低下を回避することができます。すべてのウェハ、すべての運転、およびすべての時間に対して、信頼性の高い故障検出を実行できます。
Stilettoスキャニングレーザーパーティクルディテクタ
キラー異物を検出－製品ロスを削減
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