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現場 粒子檢測器
INFICON Stiletto? 是一種激光掃描粒子檢測系統，可實時查找每個晶圓上限制量的粒子污染。 其增大的粒子檢測面積以及精確微的粒子計數和尺寸測量能够提高先進半導體過程的產量和生產率。
INFICON Stiletto能實現現場計量和過程控制，從而提高最先進的半導體過程的産量和生産率。Stiletto 是首個完全與過程工具集成的現場粒子監控系統。當與參數工具數據結合時，設備狀態可以覆蓋粒子計數，以便工程師確定準確的時間和粒子形成的原因。在每個晶圓每次加工的過程中，INFICON Stiletto 都能够檢測粒子，可提供空前的保護以防止缺陷所導致的産量損失。
INFICON Stiletto諧振掃描儀連續監控的體積比現有現場粒子監控器采用的固定激光束系統大的多，因而能够爲過程控制在統計上提供顯著的計數率。此外，重複掃描同一體積可進行自動修正，這項高級信號處理技術可真正消除錯誤的計數。與上述尖端技術的結合可實現超微靈敏度，從而能够檢測“殺傷粒子”以免發生有害事件。這樣您就能隨時對每個晶圓的每次加工進行可靠的故障檢測。
Stiletto 激光掃描粒子檢測器
查找殺傷粒子 – 降低産量損失
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