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線上即時 塵粒偵測器
INFICON Stiletto 為一雷射掃瞄塵粒偵測系統，可即時偵測每片晶圓表面影響良率的塵粒污染物。藉由加大偵測面積及對塵粒尺寸及數量的精確估算，可提升最先進半導體製程的良率及生產力。
INFICON Stiletto Stiletto 是第一部線上即時塵粒監控系統，可與製程機台充分整合。機台製程參數整合後，可協助工程師立即辨識粒形成的原因。藉由偵測每片晶圓的不同製程步驟，INFICON Stiletto 能夠提供最佳的保護避免於因塵粒缺陷造成產能的損失。
INFICON Stiletto 採用掃瞄式雷射光束系統，其偵測面積遠比現有的固定式雷射光束系統大，因此 Stiletto 可供較佳的塵粒控制。此外，重複掃瞄相同區域，可作更精準的自動修正，可大幅去除誤判信號。此一尖端科技結晶提供超微米感度，可偵測 " 微小塵粒缺陷 " 防杜異常塵粒狀況。因此，每一道製程、每一片晶圓，您都可以擁有可靠的異常偵測。
Stiletto 雷射掃瞄微粒偵測器
找出主要致命的塵粒 - 大幅降低產品損失
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