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//现场//粒子检测器
INFICON Stiletto™ 是一种激光扫描粒子检测系统，可实时查找每个晶圆上限制产量的粒子污染。其增大的粒子检测面积以及精确的粒子计数和尺寸测量能够提高先进半导体过程的产量和生产率。
INFICON Stiletto 能实现现场计量和过程控制，从而提高最先进的半导体过程的产量和生产率。Stiletto 是首个完全与过程工具集成的现场粒子监控系统。当与参数工具数据结合时，设备状态可以覆盖粒子计数，以便工程师确定准确的时间和粒子形成的原因。在每个晶圆每次加工的过程中，INFICON Stiletto 都能够检测粒子，可提供空前的保护以防止缺陷所导致的产量损失。
INFICON Stiletto 谐振扫描仪连续监控的体积比现有现场粒子监控器采用的固定激光束系统大的多，因而能够为过程控制在统计上提供显著的计数率。此外，重复扫描同一体积可进行自动修正，这项高级信号处理技术可真正消除错误的计数。与上述尖端技术的结合可实现超微灵敏度，从而能够检测“杀伤粒子”以免发生有害事件。这样您就能随时对每个晶圆的每次加工进行可靠的故障检测。
Stiletto 激光扫描粒子检测器
查找杀伤粒子 – 降低产量损失
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